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Research data for: Atomic-Scale Pathway from Coherently Embedded Sc-rich Defects to Cubic ScN Precipitates in MOCVD-Grown Al0.87Sc0.13N Thin Films

This dataset contains STEM / EDX / EELS raw data used for analysis of lattice parameters and spectra.

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Einordnung

Datum der Erstellung:
23.09.2026
Datum der Aufnahme:
23.09.2026
Datum der Veröffentlichung:
23.09.2026
Letzte Änderung:
23.09.2026
DOI:
10.57892/100-372
Sprache:
Englisch
Ressourcentyp:
Datensatz
Projekt:
Deutsche Forschungsgemeinschaft
Grenzen der Schaltfestigkeit in ferroelektrischen Nitriden: Fortschrittliche analytische Methoden für ermüdungsfreie AlScN-Bauteile [563148605]
Geographie:
Technische Fakultät, CAU Kiel
Schlagwörter:
  1. Transmission Electron Microscopy
    Typ
    Schlagwort
DDC-Sachgruppe der DNB:
530 Physik
Einrichtung:
Fakultäten, Technische Fakultät
Abgedeckte Zeitspanne
2025 bis 2026

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Rechte

Nutzung und Vervielfältigung:

CC BY-SA 4.0