10.57892/100-372Dieball, Ella JosefineEllaDieball0009-0002-4223-0739Schönweger, GeorgGeorgSchönweger0000-0001-9798-1834Streicher, IsabelIsabelStreicher133813633X0000-0003-3653-0401Leone, StefanoStefanoLeone127606764X1610502630000-0003-4579-3529Kienle, LorenzLorenzKienleWolff, NiklasNiklasWolff0000-0002-8796-0607Research data for: Atomic-Scale Pathway from Coherently Embedded Sc-rich Defects to Cubic ScN Precipitates in MOCVD-Grown Al0.87Sc0.13N Thin FilmsKiel University2026Transmission Electron Microscopy530Kiel University2026-09-23enresearch_datahttps://opendata.uni-kiel.de/receive/fdr_mods_00000372fdr_mods_00000372https://opendata.uni-kiel.de/receive/fdr_mods_00000372?XSL.Transformer=modsAttribution-ShareAlike 4.0This dataset contains STEM / EDX / EELS raw data used for analysis of lattice parameters and spectra.
Grenzen der Schaltfestigkeit in ferroelektrischen Nitriden: Fortschrittliche analytische Methoden für ermüdungsfreie AlScN-Bauteile
563148605
Deutsche Forschungsgemeinschaft